第二节 物理性质

等离子体是物质存在的一种形式，因而具有自己特定的物质属性。等离子体浓度随输入功率增加而增加，可以通过控制真空度、电磁场强度来维持等离子体浓度。等离子体中不同粒子的温度是不一样的。如果将电子温度设为Te，离子温度设为Ti，则依据粒子的温度可将等离子体分为两大类，即热平衡等离子体和非热平衡等离子体。当Te ＝ Ti时，为热平衡等离子体，二者的温度都高，这很难达到。电子温度达104K以上，而原子和离子之类的重粒子温度可低到300～500K，等离子体的宏观温度取决于重粒子的温度，这类等离子体也叫低温等离子体（lo ......